BoulePro 200

• Il carburo di silicio è un materiale semiconduttore o semi-isolante utilizzato in molti tipi diversi di dispositivi elettronici come diodi, MOSFET, JFETS, ecc.
• Sta sostituendo i dispositivi basati su silicio per applicazioni che richiedono applicazioni ad alta densità di potenza, alta frequenza e alta tensione
• I veicoli elettrici (EV) e il 5G sono i principali utilizzatori di questi tipi di dispositivi
• Il carburo di silicio viene sintetizzato tramite un processo di trasporto fisico del vapore (PVT) in forni ad alta temperatura e sono necessarie 2-4 settimane per far crescere un cristallo (boule) di pochi chilogrammi
• Il cristallo deve quindi essere modellato in un disco pronto per il wafering e quindi tagliato in wafer affinché i produttori di dispositivi possano usarlo come base
• È proprio per questa fase di lavorazione successiva alla crescita, che porta la boule cresciuta a un disco pronto per il wafering, che Hardinge ha sviluppato una soluzione innovativa

BoulePro 200 offre ai produttori di SiC la possibilità di ottimizzare il processo di fabbricazione delle boule per soddisfare la crescente domanda di SiC di alta qualità e a basso costo. La maggior parte dei produttori si sta espandendo il più rapidamente possibile per soddisfare questa domanda a valle e ha bisogno di un mezzo per ottimizzare tutti gli aspetti del proprio impianto di produzione di SiC. BoulePro 200 soddisfa tutte le esigenze di ottimizzazione della conversione da boule a disco di SiC, come mostrato nel processo di produzione del carburo di silicio riportato di seguito:

1. Crescita dei cristalli
2. Conversione da boule a disco attraverso il BoulePro 200
3. Wafering

• Vasta esperienza nella lavorazione di materiale SiC destinato ad applicazioni di semiconduttori - macchine in funzione oggi presso i produttori di SiC
• Abbiamo eseguito con successo tutte le principali fasi del processo da boule a materiale pronto per il wafering per materiali da 150 mm e 200 mm: finitura del diametro esterno, piani e tacche, rimozione laterale di cupola/seme
• Abbiamo ottimizzato tutti i passaggi da boule a disco, inclusa la radiografia per determinare e compensare l'orientamento del cristallo e li abbiamo integrati in un unico progetto di macchina per fornire ai produttori di cristalli SiC la soluzione più efficiente e a basso costo per la lavorazione delle boule
• Ho lavorato con una varietà di boule SiC di numerosi produttori di SiC

Ulteriori informazioni sulle soluzioni SiC di Hardinge

La soluzione di Hardinge: BoulePro 200

Anni di esperienza nella lavorazione di SiC, quarzo e altri materiali avanzati ci consentono di ottenere:

• Velocità del pezzo migliorata
• Manodopera ridotta
• Ingombro di produzione ridotto
• Ripetibilità avanzata del processo
• Riduzione dei materiali di consumo richiesti

• A - Automatizzazione: la macchina è completamente automatizzata per ricevere una boule SiC e creare un disco SiC pronto per il wafering.
• X - Capacità di diffrazione dei raggi X (XRD):la struttura cristallina della boule SiC deve essere identificata in modo da orientare correttamente il cristallo nel puck SiC finito e la capacità XRD e Single-Step Dual-plane Compensation (SSDC) consente di completare questa operazione
• U - Rilevamento con luce UV: quando le boule di SiC vengono poste sotto una luce UV, alcuni politipi estranei (tipo errato di cristallo SiC) mostreranno un colore diverso. 4H è il politipo che si desidera produrre e 6H è un politipo estraneo prodotto inavvertitamente in alcuni casi. La luce UV mostra la posizione del cristallo prodotto 6H e la macchina lo rimuove in modo che il disco di SiC finale contenga solo il politipo 4H desiderato
• L - Incisione laser: è possibile aggiungere la possibilità di eseguire un'incisione laser sulla superficie del disco di SiC finito in modo che il cliente possa tracciare in modo appropriato il numero di lotto, il numero di boule, ecc. per scopi di tracciamento del materiale
• V , sistema di visione: il sistema di visione può scattare foto di alta qualità della boule o del disco, a seconda della necessità del cliente, in qualsiasi fase del processo