BoulePro 200

• Le carbure de silicium est un matériau semi-conducteur ou semi-isolant utilisé dans de nombreux types de dispositifs électroniques tels que les diodes, les MOSFETS, les JFETS, etc.
• Il remplace les appareils à base de silicium pour les applications nécessitant une densité de puissance élevée, une haute fréquence et une haute tension
• Les véhicules électriques (VE) et la 5G sont les principaux utilisateurs de ces types d’appareils
• Le carbure de silicium est cultivé par un procédé de transport physique en phase vapeur (Physical Vapor Transport, PVT) dans des fours à haute température et il faut 2 à 4 semaines pour faire croître un cristal (boule) de quelques kilogrammes seulement
• Le cristal doit ensuite être façonné en une rondelle prête à l’emploi, puis découpé en tranches sur lesquelles les fabricants d’appareils pourront s’appuyer pour construire.
• C’est cette étape de traitement post-croissance transformant la boule telle que développée en une rondelle prête à l’emploi pour laquelle Hardinge a développé une solution innovante

La BoulePro 200 offre aux fabricants de SiC la possibilité de rationaliser leur processus de fabrication de boules afin de répondre à la demande croissante de SiC de haute qualité et à moindre coût.  La plupart des producteurs se développent aussi vite qu’ils le peuvent pour répondre à cette demande en aval et ont besoin d’un moyen d’optimiser tous les aspects de leur installation de production de SiC. La BoulePro 200 coche toutes les cases pour l’optimisation de la conversion des boules de SiC en rondelles, comme le montre le processus de fabrication du carbure de silicium ci-dessous :

1. Croissance cristalline
2. Conversion des boules en rondelles grâce à la BoulePro 200
3. Découpage en tranches

• Vaste expérience dans l’usinage de matériaux SiC destinés aux applications de semi-conducteurs - machines en service chez les producteurs de SiC aujourd’hui
• Avoir exécuté avec succès toutes les principales étapes du processus de matériau prêt à l’emploi pour les matériaux de 150 mm et 200 mm - Diamètre extérieur, plat et encoche, retrait du côté dôme / graine
• Avoir optimisé toutes les étapes boule à rondelle, y compris les rayons X pour déterminer et compenser l’orientation du cristal et intégré dans une conception de machine unique pour fournir aux producteurs de cristal SiC la solution la plus efficace et la moins coûteuse pour usiner les boules
• Avoir travaillé avec une variété de boules SiC de nombreux producteurs de SiC

En savoir plus sur les solutions SiC de Hardinge

La solution de Hardinge: La BoulePro 200

Des années d’expérience dans l’usinage SiC, du quartz et d’autres matériaux avancés nous permettent d’atteindre:

• Amélioration de la vitesse des pièces
• Main-d’œuvre réduite
• Empreinte de fabrication condensée
• Répétabilité supérieure du processus
• Réduction des consommables nécessaires

• A - Automatique : la machine est entièrement automatisée pour recevoir une boule SiC et créer une rondelle SiC prête à l’emploi.
• X – Capacité de diffraction des rayons X (XRD) : la structure cristalline de la boule SiC doit être identifiée afin d'orienter correctement le cristal dans la rondelle SiC finie et la capacité XRD et de compensation à double plan en une étape (SSDC) permet de le faire
• U – Détection de lumière UV: Lorsque les boules SiC sont placées sous une lumière UV, certains polytypes étrangers (mauvais type de cristal SiC) apparaîtront sous une couleur différente. 4H est le polytype dont la croissance est souhaitée et 6H est un polytype étranger cultivé par inadvertance dans certains cas. La lumière UV indique l’emplacement du cristal de croissance 6H et la machine l’élimine afin que la rondelle de SiC finale ne contienne que le polytype 4H souhaité
• L – Découpage au laser: Il est possible d’ajouter la possibilité d’effectuer un découpage au laser sur la surface de la rondelle de SiC finie afin que le client puisse suivre de manière appropriée le numéro de lot, le numéro de boule, etc. à des fins de suivi du matériel
• V - Système de vision: Le système de vision peut prendre des photos haut de gamme de la boule ou de la rondelle, comme le souhaite le client, à n’importe quel stade du processus